View

Resource metadata

Title	Nanometrologia zjawiska emisji polowej z nanodrutów osadzanych wiązką elektronów pracujących w roli czujników nano- i pikowychyleń – FEmet
Persons	Authors: Ewelina Gacka Partner: Wrocław University of Science and Technology
Description	Obecne urządzenia elektroniczne i podzespoły je budujące dążą do miniaturyzacji. Coraz większe zainteresowanie zyskują układy nano- i mikroelektromechaniczne, wykorzystywane np. jako żyroskopy, czujniki ciśnienia, przepływu płynów, przyspieszenia, czy także tworzące laboratoria chipowe (z ang. „lab on chip”). Znajdują się one w samochodach, telefonach komórkowych, mikrofonach czy także urządzeniach monitorujących zdrowie. Zaletą czujników MEMS jest niewielka energia potrzebna do ich aktuacji, pozwalająca na wykrywanie zjawisk w mikro- i makroskali. Ze względu na niewielki rozmiar czujników, do działania wykorzystują one zjawiska kwantowe, np. emisję polową. Emisja polowa jest zjawiskiem tunelowania elektronów przez izolator (np. próżnię, powietrze) w sposób lawinowy. Aby zmniejszyć próg napięcia, niezbędny do zainicjowania emisji polowej, dąży się do produkcji elektrod o jak najmniejszym promieniu krzywizny. W związku z tym niezwykle popularne są emitery, w których jedna z elektrod (katoda) jest ostrzem, a płaska powierzchnia elektrodą ekstrakcyjną emisję elektronów (anodą). Prowadzi to do mniejszej konsumpcji energii przez urządzenia elektroniczne, których zasada działania bazuje na tym zjawisku. Zjawisko emisji polowej jest obecnie wykorzystywane w ekranach wizyjnych. Emisja polowa z ostrza powoduje wzbudzenie luminoforu, który emituje promieniowanie czerwone, niebieskie lub zielone. Kolejną koncepcją jest tworzenie czujników ciśnienia, w których wyginająca się pod wpływem działania ciśnienia okładka (elektroda ekstrakcyjna) zmieniałaby prąd emisji polowej z ostrza ze wzglądu na zmianę odległości między elektrodami. W projekcie FEmet celem jest opracowanie metody detekcji bazującej na emisji polowej w celu wykrywania ugięcia belek pod wpływem zmiany temperatury, działania siły fotonów i oddziaływań atomowych. Emitery polowe (nanodruty) wytworzone są w technologii osadzania wspomaganego zogniskowaną wiązkę elektronów i jonów. Jest to metoda pozwalająca na tworzenie struktur 3D i 2D w nanoskali w pojedynczym kroku, tzw. z j. ang. „direct writing”. Podczas procesu do komory próżniowej skaningowego mikroskopu elektronowego ze zogniskowaną wiązką jonów wstrzykiwany jest prekursor, którego molekuły są absorbowane na powierzchni próbki. Materiał jest osadzany w miejscu skanowania próbki wiązką elektronów lub jonów, które prowadzą do emisji elektronów wtórych o odpowiedniej energii do dekompozycji molekuł prekursora. W ramach projektu FEmet zostaną zbadane właściwości elektryczne i wytrzymałościowe osadzanego materiału, a także parametry pracy emiterów polowych w próżni i powietrzu. Podjęte zadania pozwolą na opracowanie nowej konstrukcji emiterów polowych. Wcześniejsze konstrukcje opierały się skomplikowanym, wieloetapowym procesie produkcji, co w zaproponowanym projekcie będzie rozwiązane. Badany materiał jest komercyjnie stosowanym w procesie osadzania wspomaganego zogniskowaną wiązką elektronów i jonów, jednak jego badania i zastosowanie do wytwarzania emiterów polowych będzie innowacyjne na skalę światową. (Polish)
Keywords	"preludium"@pl, "MEMS"@pl, "nanodruty"@pl, "emitery polowe"@pl, "skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM)"@pl, "mikro i nanometrologia"@pl
Classification	Resource type: dataset, database Scientific discipline: Dziedzina nauk inżynieryjno-technicznych / automatyka, elektronika i elektrotechnika (2018) Destination group: scientists Harmful content: No
Characteristics	Place of creation: Politechnika Worcławska Creation time: 2024 Resource language: Polish
License	CC BY-SA 4.0
Technical information	Submitter: Ewelina Gacka Availability date: 06-02-2025
Collections	Kolekcja Politechniki Wrocławskiej

Citation

Copied

Ewelina Gacka. Nanometrologia zjawiska emisji polowej z nanodrutów osadzanych wiązką elektronów pracujących w roli czujników nano- i pikowychyleń – FEmet. [dataset, database] Available in Atlas of Open Science Resources, . License: CC BY-SA 4.0, https://creativecommons.org/licenses/by-sa/4.0/legalcode.pl. Date of access: DD.MM.RRRR.

Similar resources

Zdjęcie włosa konia rasy pełnej krwi angielskiej, woj. małopolskie, pow. obiektyw x 650 (II)

Krzysztof Marycz, Patrycja Wróblewska, Aleksandra Piecuch, photo, Wrocław University of Environmental and Life Sciences, Dziedzina nauk ścisłych i przyrodniczych / nauki biologiczne (2018)

Zdjęcie warstwy keratynowej włosa puchowego kota rasy bengalskiej, pow. obiektyw x 3.00 K (IV)

Krzysztof Marycz, Patrycja Wróblewska, Justyna Domagała, photo, Wrocław University of Environmental and Life Sciences, Dziedzina nauk ścisłych i przyrodniczych / nauki biologiczne (2018)

Zdjęcie włosa konia rasy pełnej krwi angielskiej, woj. małopolskie, pow. obiektyw x 1.00 K (I)

Krzysztof Marycz, Patrycja Wróblewska, Aleksandra Piecuch, photo, Wrocław University of Environmental and Life Sciences, Dziedzina nauk ścisłych i przyrodniczych / nauki biologiczne (2018)

Zdjęcie włosa konia rasy westfalskiej, woj. warmińsko-mazurskie, pow. obiektyw x 100 (II)

Krzysztof Marycz, Patrycja Wróblewska, Justyna Domagała, photo, Wrocław University of Environmental and Life Sciences, Dziedzina nauk ścisłych i przyrodniczych / nauki biologiczne (2018)

Zdjęcie włosa konia rasy konik polski, woj. dolnośląskie, pow. obiektyw x 100

Krzysztof Marycz, Patrycja Wróblewska, Justyna Domagała, photo, Wrocław University of Environmental and Life Sciences, Dziedzina nauk ścisłych i przyrodniczych / nauki biologiczne (2018)

Zdjęcie włosa konia rasy andaluzyjskiej, woj. małopolskie, pow. obiektyw x 650

Krzysztof Marycz, Patrycja Wróblewska, Aleksandra Piecuch, photo, Wrocław University of Environmental and Life Sciences, Dziedzina nauk ścisłych i przyrodniczych / nauki biologiczne (2018)